平台连接，中间有一定的缝隙。
“学姐，这个是干什么用的？”许秋指着平台问道。
“这个是电流加热装置，将用钨丝制成的篓，放在两个平台间，用金属板压住钨篓两端，通电流对钨篓加热，可达到很高的温度，使其内部靶材气化，进行蒸镀。”陈婉清道。
许秋继续看向舱体，中间部分有一探头状的物体，像个吊灯一样悬挂在束源炉和平台的上方。
学姐顺着许秋的目光看去，主动介绍道：
“这个是晶振装置，探头处装有晶振片，用来实时检测蒸镀的薄膜厚度。它的位置一定不能乱动，因为现在的参数是已经标定过的，如果移动了它的位置，对膜厚的检测结果就不标准了。此外晶振片也是有寿命的，所以需要定期更换晶振片，并重新标定厚度。”
舱体最上面是一块大的圆形金属挡板，以及一个可以旋转的样品台。
陈婉清道：“蒸镀过程中，气态靶材分子会在舱体内运动。当金属挡板打开时，可以阻挡靶材分子到达样品表面，所以它叫做样品挡板。开始蒸镀时，需将其打开。样品台可以旋转，其下方有掩模版，用来得到特定的薄膜图案，而它上面的样品支架可以取下来装样品，装好后再安装回去。”
将舱内情况了解完毕后，许秋开始做蒸镀前的准备工作。
两批基片的器件结构不同，需要分两次进行蒸镀。
第一批是正常结构，也就是蒸镀钙和铝。
许
第二十章 真空镀膜（上）(3/5)