护,进入实验室。
许秋先将旋涂好的基片,从旋涂手套箱中拿出,然后迅速转移至装有蒸镀装置的手套箱中。
这个手套箱外接有三只橡胶手套,所以同时只能进入一个人。
于是,许秋进入,学姐则在外面看着,并为他解惑。
箱体内主要有两台大型设备,左边的是蒸镀装置。
蒸镀舱的舱体是由厚重的钢板所制,舱门用轨道连接在舱体上。
许秋将舱门朝右边推开,推着还蛮沉的。
他好奇道:“学姐,这套设备也不便宜吧。”
陈婉清:“整套设备差不多20万吧,包括蒸镀舱、分子泵、循环水、总控制台,是找沈羊一家专门做真空设备的公司订做的。他们公司离这边比较远,所以弄坏的话修起来也麻烦,上次循环水出了故障,他们过来修,路费就要了五千。”
许秋:“学姐怎么知道的这么清楚?”
陈婉清:“因为学校要统计实验室的固定资产,价格超过1000元的都要统计上报。实验室虽然是魏老师管,但所有权是归国家的,因为申请的科研经费是国家出的。除非是老板自掏腰包或者企业出钱,那就另说。”
许秋点点头,开始打量舱体内部。
下面有四个圆柱体形状的炉子,应该是束源炉。
四个束源炉旁边有两个金属平台,每个平台上面都有一块金属板,大概六厘米长,三厘米宽,一厘米厚,金属板通过六角螺丝与
第二十章 真空镀膜(上)(2/5)