，他顿了顿，接着说道：“要想解决这个问题其实很简单。”
“嗯？简单？”几名技术核心同时露出了茫然的神色：印象中，这孩子不是爱说大话的人呐！
“拿两个标准片，使用同一组晶圆，一个对准图形的第一掩膜版，另一个对准图形的第二掩膜版。”
康硕没有理会他们心里在嘀咕什么，事实胜于雄辩，他接着说道：“然后，我们沿光刻系统Y方向整体偏移，预设一个偏移距离，然后曝光显影。
这个时候，分别测量第一标准片和第二标准片某个重复区域嵌套的图形之间的相对偏移误差，将第一误差和第二误差的差值作为掩膜版对准图形的补正参数，以此，我们就能减小这个误差，提升整体的制造工艺。”
开始的时候，这些人还有些嗤之以鼻，但康硕越说他们越是心惊。
发现这个问题之后，他们不是没有尝试过去解决，也想了好些办法，设计了好些方案。
但每一个方案都没撑到实施阶段，论证的时候就完全都被否了，理论都不通，实践怎么可能会有效果呢？指望着瞎猫碰上死耗子吗？根本不可能！
而这个时候，一群人在脑子里把康硕的方案从头至尾，一个环节一个环节的全部过了一遍，竟然发现理论上真的行得通！
不仅如此，这种方案还具有通用性，而且还很便捷，成本也不高，至于准确性，光从理论肯定判断不出来，肯定要上实践。
不管实施的结果怎么样，康
第17章 折服技术核心(3/5)