白每个参数的意义后，手动设定升温程序：
SP130
RATE30
TIME60
SP2400
RATE30
TIME3
SP3520
RATE20
TIME100
第一阶段，以30摄氏度每分钟的速率升至30摄氏度，等待60分钟；
第二阶段，以30摄氏度每分钟的速率升至400摄氏度，等待3分钟；
第三阶段，以20摄氏度每分钟的速率升至520摄氏度，等待100分钟。
确认无误后，他长按启动键，启动程序。
升温程序需要跑一个多小时。
在此期间，许秋向学姐请教了真空系统的工作原理。
陈婉清讲解道：“机械泵，最多只能将舱内压强降至零点几帕，必须使用分子泵才能将压强降低至十的负五次方帕这个数量级，从而达到蒸镀实验所需的最低真空度要求。
分子泵只能在低压强下使用。所以在压强大于20帕时，采用超真空挡板阀，阻隔分子泵和蒸镀舱连接；当压力低于20帕时将其关闭，再使分子泵和蒸镀舱连通。
分子泵启动后，还需要较长的时间，才能使蒸镀舱内压强达到1E-5级别。
这个时间在半小时至一个半小时之间。
如果一个半小时过后仍无法达到这个真空
第二十一章 真空镀膜（下）(3/7)