在于10纳米以下，那么我们就必须要考虑极紫外光了，也就是所谓的EUV光刻机。”
“不过……”说到这里，小芳撇了撇嘴巴：“以我们的光刻机进展速度，距离制造EUV光刻机最起码还需要三年呢！”
听后王昊天点了点头，现在他的目标就是制造45纳米的光刻机，现在上城微电子设备公司已经可以可以量产90纳米的光刻机了。
从90纳米的光刻机提升到62纳米的光刻机难道是不大的，可以这么说，从90纳米提升精度，只要不到45纳米都是比较容易做到的，一直到45纳米这是一个技术关卡！
至于45纳米之后还有28纳米的，26纳米的，22纳米的……一直到10纳米，7纳米，5纳米等等……
目标我们这颗星球上能实现量产的也就是5纳米的罢了！
小芳继续说道：“ArF准分子激光被激光发射器发射出来之后，光束有些偏差，这个时候必须经过光束矫正器进行矫正，你们星球上一般需要3个光束矫正器才能矫正出来自己需要的，而我在你们技术上经过改良优化，现在仅仅需要两个光束矫正器就可以了。”这里小芳有些得意，好像自己进行了降维打击。
“还有，被矫正的光束能量还需要控制，这时候就需要能量控制器了，我们可以依靠能量控制器，控制光束之中的能量大小，我们想要大就要大，想要小就要小，完全在我们的掌控之中呢！”
“能量大小被我们控制了之后，我
第129章 DUV光刻机(2/5)