都是阿斯慢和供应商共同研发的，专利在阿斯慢的手上。
物镜系统（镜头）是蔡司的，温控、光路修正系统等软件相关专利却是阿斯慢的。
没有这些专利，即使国内厂商拿到蔡司的镜头，也没法发挥蔡司镜头的功效。
阿斯慢近三十年时间，形成了一万多项专利，并且不断的收购，投资和合作开发，打造了整个光刻机的核心部件供应商体系。
顶级的光源，高精度的镜头和精密仪器制作技术，是EUV光刻机三大核心技术，阿斯慢的光源来自收购的子公司Cymer，镜头来自深度绑定的蔡司，精密仪器则自身拥有多年的经验和专利积累。
二十世纪六十年代，华夏也曾研究过光刻机，但在“造不如买”思想下，放弃了光刻机领域的研发。
回顾阿斯慢成为霸主的过程，高远的顶层规划，困境中的自身坚持，以及市场和技术的平衡，万中无一的运气，这些因素缺一不可。
追赶成了华夏的必选项，技术差距虽大，但有了星光科技公司的存在，相信必将会有改变历史的时刻。
现在是二零一零年，阿斯慢也还没有收购，花旗国的顶级光源企业Cymer，还没有生产出EUV，至少还没有进入量产，迎难而上，一切上应该都还来的及。
沪上微电子集团，是华夏国内唯一的一家，生产光刻机的公司，成立于二零零二年，虽然进步很快，但与国际上的几家光刻机生产企业的差距，仍然是非常的大，只
第一百八十九章：迎难而上，改变历史（求订阅！求月票！）(9/10)